| 真空处理装置及质谱仪 |
| JP2017551498 2015-11-20 发明申请 |
| 2018-8-9 |
| 所述负载锁定室和处理室和装载锁室之间转移物体的处理室并除以缩短了操作时间。(1)真空处理，真空处理室(3)和内部的情况，处理室(3)连接，和(2)之间可切换的负载锁定腔室在真空状态下的气氛条件下，(2)(3)和腔室(10)和一负载锁定室的连通部，(10)(3)(2)的处理室和装载锁室之间通过连通部活动，(5)和待加工物体放置在载物台上，载物台(5)固定，(10)的开口(3)大于在连通部(6)和密封室，被提供。 |
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