| 一种SiC高温高能铝离子注入机 |
| CN201510912879.1 2015-12-11 发明申请 |
| 2016-5-4 |
| 本发明公开了一种SiC高温高能铝离子注入机，包括：离子源，用来生成含铝的离子；离子束传输系统，用来传输铝离子束流；包括依次设置的引出系统、质量分析器、分析光栏、加速管、垂直扫描电极板及平行束透镜；引出系统将离子源产生的离子引出并形成离子束；离子束依次通过质量分析器和分析光栏后束通过加速管加速，加速后的离子束经过透镜矫正束斑形状，离子束斑经过垂直扫描电极板后扫开成扇形状束带，扇形状束带通过平行束透镜后形成平行的带状束，进入高温靶室系统；高温靶室系统，用来承载待注入的晶片，并对晶片加热至满足注入铝的高温工艺要求。本发明能够保证注入铝离子电荷可选和能量精度，满足注入铝工艺需要晶片加热要求。 |
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