| 用于高分辨率扫描显微镜的方法 |
| DE102019107267 2019-3-21 发明申请 |
| 2020-9-24 |
| 本发明涉及一种用于样品的高分辨率扫描显微镜的方法，其中，用照明光(B)这样照明样品(P)，使得照明光(B)在样品(P)中或上的点处集中成照明光斑(3)。所述点作用到衍射图像(15)中，所述衍射图像被成像到具有探测器元件(19)的面探测器(13)上，其中所述面探测器(13)通过其探测器元件(19)具有空间分辨率，所述空间分辨率对所述衍射图像(15)的衍射结构(16)进行分辨。在此，通过将点相对于样品(P)以小于光斑(3)的直径的步长移动到不同的扫描位置中，在由行和列组成的网格中逐行扫描样品(P)。读取表面检测器(13)，并且从表面检测器(13)的数据和从与这些数据相关联的扫描位置产生样品(P)的图像，所述图像具有超过成像的分辨率极限提高的分辨率。根据本发明，对于记录之后的每一行计算预计算的行原始图像。将预计算的行原始图像合并成原始图像并展开以生成样本(P)的图像。 |
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