| 一种改进的瓦斯流量控制 |
| GB1621328 2016-12-15 发明申请 |
| 2018-6-27 |
| 进气系统,用于提供气流到分析装置(16),可能是一个质谱仪。该系统包括进气口1,至少一个气体流动限制组件12连接到气体进线由至少两根可切换的限制,至少一个控制线2控制线连接到气体进线接线和至少一个进气流动限制部13,其设置在所述气体入口管线之间的控制线连接所述的分析仪。本发明的目的是提供一种气体控制系统和气体压力的气体,使得快速切换。进一步,本发明涉及一种校准传感器的系统,所述进气系统中的气体流量和方法调节气体流中,使系统。 |