| 显微镜 |
| JP2019049475 2019-3-18 发明申请 |
| 2020-9-24 |
| “问题”将来自红外光的近场光的试料发出的散射光从反射光中分离出来进行检测。 “解决装置”照射部12是朝向探针11的前端照射红外光的光源等，例如红外量子级联激光。 探针11是具有悬臂结构的所谓探针。 当聚光上述红外光时，探针11在其顶端产生近场光(渐逝光)。 振动部分13在由超声波振动器等确定的方向上振动探针11的固定端。 因此，探针11的尖端和样品S之间的距离在第一周期中变化。 测量单元18测量探针11的振动的时变。 阻挡部分14以比第一周期长的第二周期阻挡从照射部分12朝向探针11的尖端照射的红外光。 检测单元15通过近场光检测从样品S产生的散射光，并产生相应的信号。 图1是选择图。 |
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