| 中性粒子的质谱仪 |
| JP2013176865 2013-8-28 发明申请 |
| 2015-3-12 |
| 要解决的问题 : 柱电离的同时提高了效率，通过降低背景的二次离子质量分析法的中性粒子。溶液 : 中性粒子质谱法，和离子束源20和样品台10及激光光源40和网孔电极30分析部分60和控制部分50。网状电极30，发出的样品从样品中导出的颗粒之间，回推所述二次离子。激光光源40，和样品台10之间的网状电极30平行于表面的样品台，所述激光束照射，电离的微粒被导出。控制部分50，网状电极电位的二次离子能回推的离子束中散发的设定状态。然后，在经过一预定时间后，和网状电极电势反转，使激光束照射。分析部60，激光束通过样品从激光光源到质谱仪的离子化。选择绘制 : 图。1 |
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