| 一种质谱用多极杆电容的测量设备 |
| CN201721603548.0 2017-11-27 实用新型 |
| 2018-6-8 |
| 本实用新型公开了一种质谱用多极杆电容的测量设备，包括：信号处理模块、内部时钟模块、功率放大模块、隔离变压器模块、多极杆总成、反馈控制模块；通过使用DDS连接射频的频率源，可以使射频输出的高压的频率在较大范围内变化，找出调谐电流最小的频率, 然后使用精度高的标准电容与射频连接，在不改变射频电感等其它参数的情况下，达到与射频电源在相同频率下共振调谐状态的标准电容就是多极杆的分布电容，具有成本低，系统稳定性强，效率高，重复性强，可高质量的解决技术问题等优点。 |
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