一种质谱仪用模块化膜进样装置
 
CN201721701362.9  2017-12-8  实用新型

2018-6-8
 
  本实用新型公开了一种质谱仪用模块化膜进样装置,包括底座、进样膜和膜支撑,所述底座上内沉一凹槽,所述凹槽内部成型一通孔,所述通孔的截面面积小于所述凹槽的截面面积;所述膜支撑为一筛板,其设置于所述凹槽的底部,所述进样膜贴合于所述筛板上,所述进样膜上设置一与所述凹槽内侧面相贴合的密封圈,所述密封圈上设置一带有进样孔的压盖,所述压盖的外侧面与所述凹槽的内侧面形成过盈配合。本实用新型在底座中的凹槽中设置筛板,然后将进样膜贴合在筛板上,在相同膜面积下,筛板的渗透能力远远强于现有的丝网板,大大提高质谱仪的真空度和灵敏度,同时膜后通透量较现有的丝网板大,有利于实现质谱仪快速检测的需求。
 
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