| 质量分析仪的使用图像电流检测 |
| GB1107959 2011-5-12 发明申请 |
| 2013-4-3 |
| 质量分析仪30,特别是一种轨道陷入傅里叶变换质量分析仪,包括 : 一电气场发生器提供一个时间-变化用于离子注入和\/或激励的电场待分析; 第一60和第二70检测电极,其接收各自的电压由于到所述时间-变化的电场和拾音器提供各自的基于在所述电极各自的图像上的电流检测信号; 和一个差分放大器,提供一种输出基于该检测信号之间的差用于所述两个检测电极。所述电场发生器可以包括至少一个场生成electrode140-142没有空间上对称的对方,所述电容所述场生成电极140-142和第一之间的电容检测电极60被基本上相同于其场生成电极140-142和第二检测电极70。 |