| 真空装置和质谱仪配备 |
| JP2014253864 2014-12-16 发明申请 |
| 2016-6-23 |
| 所要解决的问题 : 腔室部和一真空状态,具有结构简单,可打开对大气和真空装置,具有一质谱仪。溶液 : 所述开口(103)打开和关闭闸阀300。所述闸阀300,所述位移部件(301)具有阻挡部(303)。位移部(301),可相对于所述主体(100)。该阻挡部303,根据该位移的位移部件301,主体(100)的反作用力施加在D方向位移的位移部件301与开口103相交的方向上推动的关闭。第一,1,101,2室和第第二室(102)内的真空状态,本实用新型的位移的位移部件301通过卡口103被阻塞部分(303),然后,第一打开和关闭部分(212,1室(101)的情况下打开到大气中,加压闭合部分303的开口侧103上的大气压力。选择附图中 : 图。5 |