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调整机构
CN201510920296.3 2015-12-11 发明申请
2016-6-22
在此披露一种磁性调整机构100,包括腔室10、枢转地安装在该腔室10内的元件12,并且包括磁性部分14和磁性致动器18,该磁性致动器18被安排在该腔室10的外部以允许与该元件12的磁性部分14磁耦合,这样使得该磁性致动器18的移动导致对该元件12的位置的调整。该调整机构100可用在质谱仪的真空室内以便从该腔室的外部控制可移动元件的位置。
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