| 一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门 |
| CN201711196592.9 2017-11-25 发明申请 |
| 2018-4-24 |
| 本发明公开了一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,包括点火腔体,所述点火腔体的顶部设置有气缸,所述气缸的底部贯穿点火腔体并延伸至点火腔体的内部固定连接有气缸转接头。本发明通过设置点火腔体、气缸、气缸转接头、弹片固定块一、导向轴、腔体前盖弹片、腔体前盖、弹片固定块三和弹片固定块二的配合使用,解决了现有的电感耦合等离子体质谱仪在滑动过程的滑动不顺,有噪音以及滑动过程的卡死现象,以及实现一次开关要几次开关来实现的问题,该电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,具备方便使用的优点,该阀体积小,采用弹性变形来实现密封,使用灵活,可实现阀门的一次性开关。 |