| 一种原位中间体探测质谱分析装置 |
| CN201711213720.6 2017-11-28 发明申请 |
| 2018-4-24 |
| 一种原位中间体探测质谱分析装置，涉及原位质谱分析。设有石英反应管、U型石英反应管、原位反应炉腔体、电加热炉、漏勺、光电离源、离子调制区、飞行时间质谱加速区、飞行时间质谱无场区、飞行时间质谱反射区、检测器和分子泵；石英反应管入口和出口穿过原位反应炉腔体与U型石英反应管相连，U型石英反应管嵌套在电加热炉中并在末端开有取样孔，取样孔正对着漏勺，离子调制区、漏勺和飞行时间质谱加速区三者处于同一轴线上，光电离源垂直安装于离子调制区上，离子调制区上设有3个圆形电极；从反应管经漏勺到离子调制区真空度依次增加，第2分子泵连接在原位反应炉腔体，第1分子泵位于离子调制区和飞行时间质谱分析器所在腔室。 |
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