| 一种电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口 |
| CN201711196554.3 2017-11-25 发明申请 |
| 2018-4-20 |
| 本发明公开了一种电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口，包括点火腔体，所述点火腔体内腔的后侧固定连接有第一密封圈和第二密封圈，所述点火腔体内腔的底部分别固定连接有滑轨平台和气缸，所述点火腔体内腔后侧的顶部设置有低真空腔体，所述点火腔体的内腔设置有水冷盘。本发明通过设置点火腔体、第一密封圈、第二密封圈、滑轨平台、气缸、水冷盘和低真空腔体的配合使用，解决了现有的电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口密封效果差，不能快速实现正常气压与低真空的转换，不便于安装维护的问题，该电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口，具备密封效果好，可快速实现正常气压与低真空的转换，便于安装维护的优点。 |
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