| 一种阀门开度自动修正的数字式气体流量控制器 |
| CN201721283994.8 2017-10-1 实用新型 |
| 2018-4-10 |
| 本实用新型公开了一种阀门开度自动修正的数字式气体流量控制器，包括：气瓶、中控器、数字式气体阀门和传感器组；气瓶，提供质谱仪需要的高压气体；中控器，用以执行上位机的指令，接收并执行阀门开度指令；数字式气体阀门，通过接收中控器的数字指令，调整流量范围；传感器组，实时监控气体的各项参数并传递给中控器。本实用新型针对现有的模拟量控制的流量控制器的精度差，电路复杂，长期工作误差大，反映不够灵敏的诸多问题，提出数字量控制，阀门开度实时自动校正的流量控制器，能够提高气体流量控制器的控制精度和长期工作的稳定性，更好地提高质谱仪的检测效率。 |
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