| 电感耦合等离子体质谱仪高真空腔体 |
| CN201721320235.4 2017-10-13 实用新型 |
| 2018-4-10 |
| 本实用新型提出了电感耦合等离子体质谱仪高真空腔体,包括:主腔体,上盖板,密封部件,电路板和电路板压板;主腔体通过连接部件与上盖板连接,且上盖板在主腔体的上端,在主腔体与上盖板的连接处具有第一密封圈;在电路板与上盖板之间连接处具有密封圈,电路板压板通过锁紧部件与电路板锁紧;电路板压板与上盖板之间具有密封部件,电路板安装在密封部件内部; 本实用新型由于采用不锈钢锁紧扣将上盖板压紧在主腔体上,且在中间设置密封部件,保证了上盖板和主腔体之间的密封性;另外,上盖板与电路板之间也同样通过密封部件进行密封,保证了仪器整体化设计,装配简单,智能化程度高,稳定性强,满足高真空要求并能实时读取真空状态等。 |