| 扫描电镜分析装置 |
| JP2019046992 2019-3-14 发明申请 |
| 2020-9-17 |
| 在分析器和扫描电子显微镜中设置用于检测从样品[A]发射的二次电子的二次电子检测器，从二次电子检测器释放物镜孔径，以抑制所提取的二次电子。 [解决方案]扫描电子显微镜， 电子源(1)，产生电子； (3a， 3b)和用于聚焦电子束的聚焦透镜， (3a， 3b)由聚焦透镜(41)聚焦在电子束通过开口的部分中， (4)调整电子束物镜孔径的大小， (4)(41)通过物镜节流孔(6)和物镜聚焦样品表面， 从二次电子检测器(8)放出的样品被配置为检测二次电子， (4)至(8)被布置成小于物镜膜片的二次电子检测器，(4)以便捕获从物镜膜片构件发射的二次电子(30)。 图1[附图] |
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