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扫描探针显微镜
JP2019039608 2019-3-5 发明申请
2020-9-10
[问题]用小型化的扫描型探针显微镜除去样品的静电荷。 [解决方案]在扫描探针显微镜100中, 具有尖端2和悬臂3的探针, 在测量过程中, 激光2射出悬臂, 悬臂检测由光学系统反射的激光,移动试样的扫描器,产生驱动扫描器的驱动电压的电源电路,对试样进行充电以除去静电消除器。 消除器通过施加高压放电来产生配置。 电源电路将来自高压发生电路的驱动电压包括施加在电极上的电压。 图1[附图]
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