| 一种双等离子体离子源放电电源 |
| CN201721384489.2 2017-10-25 实用新型 |
| 2018-2-2 |
| 本实用新型为一种双等离子体离子源放电电源。包括:移相PWM控制电路是电源的控制端,通过接收到输出电压与输出电流的反馈信号,通过移相的方式调节输出信号波形的占空比;通过整流滤波电路,将220V,50HZ交流电转换成300V直流电;全桥逆变电路,根据所述移相PWM控制电路的输出信号转换成300V交流电;升压变压器,将全桥逆变电路输出的300V交流电升高到5000V左右交流电;电源输出电流与电压,反馈至移相PWM控制电路。本实用新型解决恒压恒流电源, 其输出电压、输出电流调节范围小,功率小,电源工作方式等原因, 不能满足双等离子体离子源的需要。采用本电源应用于双等离子体离子源,使二次离子质谱的实验更高效。 |