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原子探针检查装置，场离子显微镜及畸变校正方法

US16562931 2019-9-6 发明申请

2020-9-10

根据一个实施例，一种原子探针检查装置，包括：一个或多个处理器，被配置为改变被检测离子的二维位置；检测离子的二维位置信息和离子的飞行时间，识别离子的元素的类型，在第一条件下产生第一信息和在第二条件下产生第二信息，以及从第一信息和第二信息产生样品的重建图像。