| 系统和方法用于离子注入机中的光束角调整与梁减速 |
| WOUS15067728 2015-12-28 发明申请 |
| 2016-6-30 |
| 离子注入系统(110)利用一个质量分析器(126)，用于质量分析及角度的修正。离子源产生的离子束(124)沿着射束路径。位于下游的质量分析器的离子源进行质量分析，角度校正在离子梁。分辨孔(134)内孔组件(133)位于下游的质量分析器组件和沿在光束路径上。在解析孔具有的尺寸和形状根据选择的质量分辨率和横梁的信封离子束。角度测量系统(156)位于下游的解析孔和入射角获得角度值，离子束。控制系统(154)导出磁场调整用于质量分析器根据入射角度值所述离子束从角度测量系统。 |
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