非导电样品的辉光放电质谱法
 
JP2016113895  2016-6-7  发明申请

2017-12-14
 
  辉光放电质谱分析的强度好,非导电样品[A]能够稳定地进行。该扁平电池式辉光放电质谱计中使用非导电[解决方案]一种在辉光放电质谱分析的样品。辉光放电质谱装置,放电电极,反电极成为非导电层和所述次级阴极由钽覆盖的样本掩码,第二掩模中的阴极以防止电短路的放电电极和绝缘体,次级阴极的样品为不导电掩模以暴露圆形开口5中形成a-8mm直径。图[图2]
 
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