| 液体金属离子源，二次离子质谱仪，二次离子质谱分析过程和它们的应用 |
| EP07021097 2007-10-29 发明申请 |
| 2009-5-6 |
| 液体金属离子源包括一种合金中含有一种其它金属铋与一个原子的重量=90U，铋中的溶解度>=1%的，与少或没有同位素的同位素和\/或任何窄装置和在所述离子束的生产没有或仅少量与铋混合簇的形成。独立权利要求书是包含用于 : (1)的二次粒子的质量光谱仪用于该分析的二次颗粒如二次离子和\/或离子化后的中性二次粒子与一种液体金属离子源，用于所生成的一主离子光束用于所述的照射一样品和生成的二次粒子，其表现出所述液体金属离子源作为以及作为初级发射的离子束从所述液体金属离子源与一滤波器装置和一个的几个类型的铋离子，其质量量到多个所述的单原子，单独或多电荷铋离子，被一种质量到中被滤出所形成的纯主离子束，当一个的多个类型的离子所述其它金属的是filterable作为质量-纯滤波后的主离子束; 和(2)的二次粒子质谱分析样品的分析所述的方法，其中所述的表面该样品是与一主离子束照射，并产生一个初级离子束，其中 : 所述光束包含单原子或多元的第一金属离子和单原子的其它金属离子; 所述的第一金属离子显示出一个原子重量≥190的U和所述的离子所述其它金属表现出一个原子重量≥90的U，交替地从所述主离子束在所述一个手; 一个第一的多个类型的离子的金属滤波后的作为质量-纯主离子束和在所述其它手的一个的所述其它金属离子的几种类型的滤波后的作为质量-纯主离子束，被过滤掉; 和所述二次粒子频谱包含的主离子束过滤与所述的第一金属离子和所述二次含有初级粒子光谱离子束经滤波的与所述的所述其它金属离子被确定。 |
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