| 一种扫描电镜及三维原子探针用跨设备表征通用样品底座 |
| CN201922383891.4 2019-12-26 实用新型 |
| 2020-9-8 |
| 本实用新型的一种扫描电镜及三维原子探针用跨设备表征通用样品底座，属于材料微纳尺度结构与性能原位表征技术领域，由相互凹凸配合并用于夹持片状样品的装载台和固定台组成，装载台在靠近于固定台的一侧顶部开设有侧开凹槽，固定台在靠近装载台的一侧设有与侧开凹槽卡合的凸块，且固定台上所设的凸块相对于装载台上所设的侧开凹槽轴向滑动配合；装载台面对固定台的对应面上并位于侧开凹槽两侧开设有安装孔，固定台面对装载台的对应面上并位于凸块两侧开设有与安装孔对应的通孔，且装载台上所设的安装孔与固定台上所设的通孔通过联接件连接；装载台在背离固定台的一侧顶部开设有用于放置三维原子探针样品的圆孔。本通用样品座适用于原位力学加载、扫描电镜和三维原子探针设备。 |
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