| 一种便于更换的离子源连接结构 |
| CN201720522244.5 2017-5-11 实用新型 |
| 2017-12-5 |
| 本实用新型公开一种便于更换的离子源连接结构，包括离子源、法兰盘和质谱室，离子源焊接在法兰盘上，离子源从质谱室一侧的开口处伸入到质谱室内，通过真空密封法兰将法兰盘与质谱室固定连接，便于更换，提高使用便利性；离子源设有基座，基座上依序设有散热装置及电弧室，述电弧室底板连接有进气管；所述散热装置的散热本体顶面全平面地贴平于电弧室底板的底面，散热装置提供更大接触面积来提高热传导效率，再配合冷却媒管内的流动冷却媒介，快速将散热本体的热带离，使整体散热效率更佳；且由于散热装置主要全平面贴平于电弧室底板的底面，纵使底板在高温运作下不易受热变形，提高离子源的品质。 |
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