| 波束传输系统及其方法 |
| US15150090 2016-5-9 发明申请 |
| 2017-1-12 |
| 本发明公开了一种束流传输系统和方法。 所述束流传输系统包括提取装置、质量分析器、发散元件、准直元件和变速转向元件，所述质量分析器的分析平面垂直于所述提取的束流的会聚平面，进入入口后，所述束流会聚在垂直于所述分析平面的平面内的会聚点上，然后从所述会聚点发散，并从出口传输到所述发散元件； 准直元件用于使光束在光束的透射平面中平行； 所述变速转弯元件用于使所述光束在偏转时变速以获得目标能量，从而使所述光束的传输方向改变第一预设角度。所述变速转弯元件用于使所述光束在偏转时变速以获得目标能量，从而使所述光束的传输方向改变第一预设角度。 通过多个束流光学元件的协调配合，可以在垂直面上形成较宽的分布，因此本发明适用于大尺寸晶片的加工，在避免能量污染的前提下，也保证了较好的注入均匀性。 |
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