| […]与多级隔膜泵 |
| DE102013218506 2013-9-16 发明申请 |
| 2015-3-19 |
| a[…]与质谱仪(12)用于分析的氢气或氦气，一与所述质谱仪(12)连接涡轮分子泵(14)和其出口(18)到衬底泵(20)连接，和多个吸线(38，40)具有[…]，形式与入口(16)的涡轮分子泵(14)连接，其特征在于，通过至少三级真空泵(28)，其输入级(22)的预真空泵(20)和通过动词诱蚊节流阀(46)与出口(18)所述涡轮分子泵(14)连接，所述相邻级间以(22，24，26)的真空泵(28)在每种情况下中间入口(34，36)提供，其中，每个中间入口(34，36)连接另一和至少一个的吸线[…]吸线(38，40)比进气歧管(38)与入口(16)的涡轮分子泵(14)连接以实现不同的气流。 |
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