| 适用于扫描探针显微镜的探针的制造方法 |
| EP19160202 2019-3-1 发明申请 |
| 2020-9-2 |
| 根据本发明，在制造这样的探针尖端体之后，在适合于SPM的探针的较大尖端体(10)上制造一个或多个较小尖端部分(15)。 探针头体可以根据本领域已知的任何技术，例如通过模制技术来制造。 较小尖端部分(15)的形成通过使用探针尖端主体(10)外表面上的掩模层的自对准等离子体蚀刻过程来实现。 掩模层可以包括纳米级颗粒(3)和/或化合物(12)，其自发地形成在尖端主体或模具的外表面上，例如氧化物或氧碳化物。 纳米尺寸颗粒(3)可以是在探针材料沉积在模具(2)中之前沉积在模具中的种子颗粒， 和/或在蚀刻工艺本身期间产生的颗粒，例如从悬臂或从其中执行蚀刻工艺的反应室溅射的颗粒。 可选择地或另外地，掩模颗粒可以在刻蚀过程之前故意沉积在尖端体上。 |
微信公众号