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离子源,四极质谱计和残余气体分析方法
EP16002628 2016-12-9 发明申请
2017-6-14
为了达到本发明的主要目的是提供一种离子源,能够有效提取离子,离子源21被构造成包括 : 一种具有离子导电的管状体212及其发射孔212在前端面和贯通部在侧壁允许热通过从外侧向内侧的电子;网213包围着该贯穿部的外周面;和一热电子发射灯丝(214)的外周周围的网213,使得热发射的电子从灯丝热电子发射(214)通过网筛213并达到所述导电管体(212)内通过的贯穿部。
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