| 离子检测装置 |
| CN201310021535.2 2013-1-21 发明申请 |
| 2013-7-31 |
| 本发明提供一种能够谋求到检测精度的提高以及结构的单纯化的离子检测装置。检测正离子的离子检测装置(1A)具备：设置有使正离子进入的离子进入口(3)的腔室(2)、被配置于腔室(2)内并且被施加负电位的转换倍增极(9)、被配置于腔室(2)内并具有与转换倍增极(9)相对并且入射从转换倍增极(9)释放出来的二次电子的电子入射面(30a)的雪崩光电二极管(30)；电子入射面(30a)在被接地的腔室(2)中相对于支撑雪崩光电二极管(30)的定位部(14)而言位于转换倍增极(9)一侧。 |
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