用于质谱仪的自动化洁净度的诊断
 
WOGB14052817  2014-9-17  发明申请

2015-3-26
 
  质谱仪或者离子迁移率光谱仪明公开了一种包括装置,用于检测堵塞进料口(6)设置在离子源和真空室(2)。堵塞检测作为压力的减小的结果在真空室(2)。该压力变化通过监测量间接检测的功率的真空泵(10)使用,电流量真空泵(10)牵伸,该真空泵(10)的温度或附近区域中的真空泵(10),或气体的流率的真空泵(10)。
 
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