| 一种基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台 |
| CN202020486192.2 2020-4-6 实用新型 |
| 2020-9-1 |
| 本实用新型公开了一种基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台，其技术方案要点包括包括样品载台，所述样品载台下方设置有横块；所述横块两侧分别设置有导气装置；所述导气装置包括设置于横块侧面且向外延伸的平行设置的两根密封条；所述密封条之间设置有导气管；所述导气管一端延伸至密封条外侧与接口连接；所述接口与导气管连通。所述密封条下侧设置有密封板；所述密封板向外延伸；所述密封板上表面设置有弧形板；所述弧形板与样品载台紧贴；所述密封板另一端与横块紧贴；所述密封条、密封板、横块以及弧形板之间形成一个密封空腔，本实用新型具有通过输入惰性气体，从而保护了对水分空气敏感的样品有益效果，从而实现观测精确，减少误差。 |
微信公众号