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一种质谱仪用射频电源及质谱仪

CN201610414749.X 2016-6-12 发明申请

2016-8-24

一种质谱仪用射频电源及质谱仪，该质谱仪用射频电源包括信号源、互补信号产生电路、信号耦合电路和驱动电路；其中信号源产生两路正弦信号RF和AC；互补信号产生电路产生RF+、RF 、AC+和AC 四路信号，其中RF+和RF 互补，AC+和AC 互补；信号耦合电路将AC+和AC 耦合到RF+信号上，得到RF+AC+耦合信号和RF+AC 耦合信号；驱动电路将RF+AC+耦合信号、RF+AC 耦合信号和RF 信号放大产生高压射频电压，并输出到负载上；或者，信号耦合电路将AC+和AC 耦合到RF 信号上，得到RF AC+耦合信号和RF AC 耦合信号，驱动电路将RF AC+耦合信号、RF AC 耦合信号和RF+信号放大产生高压射频电压，并输出到负载上。该质谱仪用射频电源可以实时改变射频电压频率和幅度，灵活性、可控性好，驱动信号精度高。