| 时间--飞行的质量光谱仪 |
| WOJP12068772 2012-7-25 发明申请 |
| 2013-4-11 |
| 一薄金属片(113)和两个矩形杆-状金属部件(112)，其被平行于每个其它被交替地重复叠加，和厚的金属片(111)被设置在所述叠层的两端，以夹心所述叠层。每个表面，它是在通过扩散焊与另一粘接在其上表面接触以形成一个集成多层结构(110)。所述多层结构(110)被切割在给定的间隔沿平面垂直于所述薄金属片(113)。因此，一栅状电极(100)，其具有空间，作为开口(102)，形成由薄金属片(113)作为叶片(101)和由金属部件(112)作为间隔物被获得。与这种配置，它是可能的，以增加所述叶片(101)的厚度，以提高机械强度同时保持所述叶片(101)的宽度和它们之间的距离小。此外，一个从所述飞行电场的空间侧泄漏到所述的离子加速区侧可被禁止，和所述因此，可防止离子被引入可从从所述的离子加速区逃逸到该飞行空间侧。 |
微信公众号