| 镓聚焦离子束离子显微镜复合装置 |
| JP2020075980 2020-4-22 发明申请 |
| 2020-8-27 |
| [A]通过离子束处理样品以在适当位置形成横截面电子显微镜观察装置，通过形成横截面离子束处理离子显微镜观察装置。 复合离子束是离子束显微镜， 发射镓液态金属离子源， 聚光透镜， 物镜， 离子束扫描偏转器， 模板掩模， 例如用于存储和来自柱子206的离子束照射系统， 离子束照射轴1003是离子显微镜，其大致垂直于安装表面，离子束照射装置的镓聚焦离子束布置在相对于轴1005的安装表面倾斜的方向上。 [图]图12B |
微信公众号