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带电粒子图像测量装置及成像质谱仪

US15253344 2016-8-31 发明申请

2017-3-2

一种带电粒子图像测量装置，包括样品台、与样品台相对的带电粒子透镜、二维检测器、设置在样品台和由带电粒子透镜形成的最靠近样品的交叉位置之间的第一光圈、以及设置在第一光圈和二维检测器之间的第二光圈。