| 一种质谱仪核心部件的自动控制系统 |
| CN201310162531.6 2013-5-7 发明申请 |
| 2014-11-12 |
| 本发明公开了一种用于质谱仪激光解析模斑大小自动控制的光学系统，它由入射透镜、带中心透射孔的反射镜、中继透镜、校正反射镜和光电探测器组成。入射透镜、带中心透射孔的反射镜、中继透镜和校正反射镜在空间上顺次排列，带中心透射孔的反射镜与入射激光光轴成45度放置，光电探测器放置在入射激光光轴的垂直方向。根据光电探测器所接收的激光功率判定入射激光入射到校正反射镜上的激光光斑大小。通过移动中继透镜，改变中继透镜和校正反射镜之间的距离，动态地调整入射到校正反射镜上的激光光斑大小。本发明提供一种能够动态控制解析激光光斑大小的自动控制光学系统，通过控制激光解析光斑大小，满足质谱仪在不同测试条件下的使用要求，增强质谱仪的工作性能。 |
微信公众号