| 溅射中性粒子质谱仪 |
| US14640766 2015-3-6 发明申请 |
| 2015-9-24 |
| 一种溅射中性粒子质谱仪，包括 : 样品台，其保持作为质谱仪目标的样品， 并且包括用于样品的温度控制机构， 离子束照射装置，其将离子束照射到样品上以产生中性粒子， 激光照射装置，其用激光照射中性粒子以获得光激发离子；质谱仪，其吸入所提取的光激发离子并执行质量分析；驱动系统反射镜，其可缩回地设置在激光照射装置和样品台之间的激光光路上，并且当定位在激光光路内时反射激光；以及轮廓仪，其布置在驱动系统反射镜的反射方向上并检测激光的特征。 |
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