| 以下方法通过测量分压放气率测量的质谱法 |
| PL14180294 2014-8-8 译文 |
| 2017-8-31 |
| 以下方法的部件放置在真空脱气室，包括 : 测量分压(P[i]设定的参考的原子质量M，通过连接到质谱仪的真空室；确定η的脱气速率，至少将测量到的压力PI的函数；并且，脱气率计算的斜率变化。η的脱气速率可以有利地通过计算确定借助关系式 : Mη=∑i∈??∑?对Iαi，i=0至0N??αi?p其中M代表一组参考的原子质量，PI表示的原子质量的局部压力测量的质谱仪，由于预设加权系数的系数αi表示每一个相关联的局部压力pi，和n表示大于最大的原子质量的PI进行分压测量的质谱仪。 |
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