| 激光清洁装置和方法用于在电极上沉积的污染物的原位消除质谱仪 |
| KR1020160023694 2016-2-26 发明授权 |
| 2017-8-2 |
| 本发明的激光清洗方法和清洗装置公开了用于质谱分析。质谱分析2维扫描激光清洁装置包括传送阶段；所述传送台安装反射式光学元件；所述反射式光学元件的激光光源的激光清洗表面；并对准孔，并且所述激光清洁束激光束与所述进程与所述反射光学部件的进入开口，通过该激光照射清洁束，离子引出电极由膜片。所述激光清洁束的激光束通过进入开口和间隔污染，离子引出电极的数量球与所述反射型光学部件，所述隔膜照射所述离子引出电极清洗的激光清洗梁。 |
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