| 一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪 |
| CN201410855708.5 2014-12-31 发明申请 |
| 2015-4-29 |
| 本发明涉及一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪，包括：第一真空室、第二真空室、第三真空室、第四真空室；所述电感耦合等离子体质谱仪进一步包括：第一调谐部件，所述第一调谐部件为泵，与各级真空室相连，调节所述各级真空室的压力；第二调谐部件，所述第二调谐部件使各级真空室相互连通，调节所述各级真空室之间的压力。本发明还提供一种电感耦合等离子体质谱仪各级真空室压力的调节方法。本发明具有优化降低空间电荷效应，改善抗质谱干扰和非质谱干扰效果，优化离子传输等优点。 |
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