| 干涉式电子显微镜 |
| EP20157514 2020-2-14 发明申请 |
| 2020-8-26 |
| 本发明提供一种干涉式电子显微镜，其能够提高照射电流密度，不存在由使用晶体引起的问题，并且能够自由地控制被检体平面上的物波与基准波之间的距离。 使电子波相互干涉的干涉式电子显微镜包括：电子源(1)； 用从电子源(1)发射的电子束照射样品的照射透镜系统(3，4)； 聚焦透镜系统(5，9)，用于对样品的图像进行聚焦； 观察平面(11)，用于观察由聚焦透镜系统(5，9)聚焦的样品的图像； 设置在电子源(1)和照射透镜系统(3，4)之间的人造光栅(13)，其衍射从电子源(1)发射的电子束以产生第一电子波和第二电子波； 设置在照射透镜系统(3)中的照射系统中的电子束双棱镜(14)， 4)偏转第一电子波和第二电子波，使第一电子波通过样品用作目标波，并使第二电子波用作参考波； 以及在聚焦透镜系统(5，9)中设置的聚焦系统中的电子束双棱镜(10)，其偏转物镜波和参考波，以将物镜波和参考波叠加在观察平面(11)上，从而产生图像。 |
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