| 一种自清洗质谱装置和质谱仪 |
| CN201621061258.3 2016-9-18 实用新型 |
| 2017-8-22 |
| 本实用新型公开了一种自清洗质谱装置和质谱仪。具体地，本实用新型改变了现有离子源的结构，设计出一种新型的离子化腔室。所述新型的离子化腔室内部存在一平板金属电极、离子化腔室壁上存在一离子源LC接口，并且离子化腔室与已经存在的质谱前级真空泵连接。将离子化腔室和传输系统内部抽为真空，通过离子源LC接口通入无机气体，并在电极上施加高频射频电压，无机气体辉光放电产生的等离子体，从而等离子体对离子源和传输系统进行有效清洗。本实用新型的清洗方式不用拆除任何器件，且清洗效果好于常规的溶剂清洗或超声清洗。 |
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