| 泄漏检测器 |
| WOJP11005491 2011-9-29 发明申请 |
| 2012-5-24 |
| 本发明提供一种泄漏检测器具有很强的检测灵敏度和可用性，其允许泄漏测试快速开始后开始抽真空而不损害所述探头的一个功能还具有一快速反应与氦的气体速度。该泄漏检测器包括 : 一质谱管(2)，其感测一搜索气体; 和一涡轮分子泵(3)还包括多个定子叶片(34)和涡轮机的叶片(33)，其被安装在一转动轴(32)交替阶段中，和其中一个驱动源(35)被设置，其可旋转地驱动所述旋转轴线，一壳体(31)内。所述壳体内，在一壁面(31a)，它是相对所述涡轮叶片(33a)，其是位于在所述最高级，一个进气口(36)，其与所述探针(TP)一连接端口进行通信(37)，其被连接到所述质谱管被打开，所述从一个端口被相互隔开的另一。一个漏感测是所述涡轮分子泵进行与所述的吸气口和所述样品的连接通过一连接管，和所述搜索内的气体吸入所述质谱管从所述探针。 |
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