| 等离子体光谱仪 |
| JP2016015106 2016-1-29 发明申请 |
| 2017-8-3 |
| 实现等离子体质谱中有效气体过滤装置，用气体消耗较高的流量速率，并提高分析能力，本发明提供了一种含等离子体的光谱设备用于产生和递送进样器喷射气体的含分析样品，用于产生等离子体的等离子体发生器，其中所述喷射气体的引入，荧光X射线分析装置设置在所述等离子发生器用于分析被分析物样本。所述等离子体的光谱设备含有第一供给气体的气体管道上的进样器，一种将气体供应到等离子体发生器第二的气体管道上，和第一滤波器位于气体管线去除气中所含的杂质。 |
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