| 一种基于局部扫描成像的原子力显微镜长距离操作方法 |
| CN202010490171.2 2020-6-2 发明申请 |
| 2020-8-21 |
| 本发明涉及微纳科技研究中的精密仪器领域，涉及一种基于局部扫描成像的原子力显微镜长距离操作方法。本发明通过利用局部扫描方法快速追踪操作目标位置，减少获取目标位置时间和降低探针对样品损害，从而提高操作准确性和减低样品损害。采用本发明方法进行局部扫描成像时间远远小于传统原子力显微镜的扫描成像时间，显著提高成像效率及微纳操作的操作效率，也为实现微纳功能结构和微纳机器人的精确装配与制造提供一种新的方法。 |
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