| 一种材料辐射致放气的在线测试装置 |
| CN201621345502.9 2016-12-8 实用新型 |
| 2017-7-28 |
| 本实用新型公开了一种材料辐射致放气的在线测试装置，所述装置包括真空腔室系统、辐射腔室系统、抽气系统、供气系统、检测组件和数控采集单元；所述真空腔室系统包括真空腔室、样品台、样品和法兰窗口，所述抽气系统包括：干式机械泵、磁悬浮分子泵、限流小孔、第一角阀、插板阀和第二角阀，所述供气系统包括：气源、第一截止阀、微调阀、第二截止阀和气体流量控制器。该装置结构简单，操作方便，且可对质谱仪和有效抽速进行校准，测试结果更为真实精确。 |
微信公众号