产业集群信息网

产业专利数据

真空质量测量系统

CN201080050648.X 2010-11-8 发明申请

2012-7-25

一种用于真空室的气体分析器包含处理电子器件，其经配置以接收质谱数据，接收所述真空室中的总压力的输入，接收来自至少一个传感器的外部输入，且使用所述质谱数据、所述真空室中的所述总压力以及来自所述至少一个传感器的所述外部输入来基于至少一个质量准则计算真空质量指数。