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产业专利数据

质谱分析方法

WOJP14079676 2014-11-10 发明申请

2015-6-18

用于内部清洗的目的，腔室具有质谱仪的质量arator快速，无开口的内腔到大气中，大量的清洗气体可arating污染物粘附在内部壁的质谱仪引入到所述室中通过脉冲阀，使最大膛压值在清洗步骤，高于样品中的最大膛压值测量步骤。