| 以下方法脱气率通过测量部分测得的压力质谱 |
| EP14180294 2014-8-8 发明申请 |
| 2015-3-4 |
| 用于跟踪方法脱气的部件放置在真空室，包括的步骤 : 测量分压p I集合M原子质量的参考，通过质谱仪连接到所述真空室，确定吹扫率η，至少作为测得的P I的分压的功能，计算的斜率的变化，吹扫率。出气率可以有利地通过计算确定使用η的关系式 : η=∑i∈MαI P I∑I≤0Nαi]p其中M表示原子质量的设定的基准，P I表示的部分压力的原子质量测量的质谱仪，系数αi预定加权系数的每一个相关联的分压力P I，和n表示最大的原子质量的分压力P I可以测得的质谱仪。 |
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